穩(wěn)如磐石,微米級(jí)精度! 菲克科技三軸大理石位移系統(tǒng)
菲克科技始終致力于運(yùn)用前沿技術(shù)提升產(chǎn)品質(zhì)量,并不斷突破技術(shù)瓶頸,為科研、工業(yè)客戶提供高品質(zhì)的運(yùn)動(dòng)控制解決方案。 在超精密加工、半導(dǎo)體檢測(cè)和光學(xué)測(cè)量領(lǐng)域,傳統(tǒng)多軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)常常因?yàn)閯傂圆蛔恪⒄駝?dòng)敏感、熱穩(wěn)定性差等問(wèn)題,難以滿足納米級(jí)精度和高負(fù)載的復(fù)合運(yùn)動(dòng)需求。針對(duì)高精度、高負(fù)載應(yīng)用,我們攻克了空間約束與超精定位的難題,為客戶定制研發(fā)了 FMSXYR-D 三軸高負(fù)載定制大理石位移系統(tǒng)!